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[ Silicio ]
Simbolo Si, semimetallo molto abbondante in natura, sul quale si basa tutta la tecnologia microelettronica. La produzione di microcircuiti (IC) avviene per mezzo di processi di rivestimento e di etching in plasma. I gas appropriati per i processi di etching sono i gas alogeni e contenenti alogeni (in particolare contenenti fluoro).
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