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[ Idrogeno ]
Gas biatomico (H2) che viene utilizzato in plasma come gas di processo. Per la sua massa esigua ha solo un’efficacia debole nello sputtering, ma ha una buona efficacia della rimozione di strati di superfici riducibili, ad es. gli ossidi superficiali dei metalli. È il più leggero degli elementi chimici, composto da un protone e un elettrone. L’idrogeno pesante (deuterio) e pesantissimo (trizio) contengono nel nucleo uno o due neutroni in più.
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