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SISTEMI DI PLASMA - DOTAZIONI DI SERIE

[ PLASMA SISTEMI PICO ]



I sistemi di plasma Pico possono essere combinati in un sistema modulare in diverse varianti. Quello che segue è una panoramica delle opzioni più popolari in connessione con i sistemi di plasma il Pico.

Chiamateci, vi consigliamo. Tel: +49 (0) 7458 - 999 31-0

Brochure PICO (PDF 1007 KB)


Attrezzatura di base

- I casi variano a seconda dei componenti / opzioni
- Volume della camera: a seconda della versione 4 - 15 litri
- Alimentazione: 230 V per il piano, 400 V / 3 fasi Freestanding

Di erogazione del gas

- Valvole ad ago
- Mass-Flow-Controller (MFCs)

Camere a vuoto

- Acciaio inossidabile
    rotonda con soffitto
    (ca. Ø 150 mm, L 320 mm o L 600 mm) o
    rettangolo, porta a battente
    (ca. L 160 mm x A 160 mm x P 325 mm o 600 mm)

- Alluminio
    rotonda con soffitto o porta a battente
    (ca. Ø 130 mm, L 300 mm o L 600 mm)

- Quarzo (UHP)
    rotonda con soffitto o porta a battente
    (ca. Ø 130 mm, L 300 mm o L 600 mm)

- Vetro borosilicato (UHP)
    rotonda con soffitto o porta a battente
    (ca. Ø 130 mm, L 300 mm o L 600 mm)

Caricamento

  Portacampioni (Opzione: Raffreddato ad acqua),
  Boot di vetro al quarzo, Polvere tamburo rotante,
  Tamburo rotativo per pezzi sfusi, Lamiera di alluminio,
  Lamiera d'acciaio inossidabile, Vetro borosilicato, Quarzo

Elettrodi

- Singola- o Elettrodo multistadio
- RIE

Controllo

- Semi-automatica
- Comando PCCE (Microsoft Windows CE)
- Comando PC (Microsoft Windows XPE)

Manometri

- Pirani
- Baratron

Timer

- Digital

Generatori

Frequenze:     40 kHz: Potenza 0 - 200 W; 0 - 1000 W
                  13,56 MHz: Potenza 0 - 50 W; 0 - 100 W, 0 - 300 W
                    2,45 GHz: Potenza 0 - 300 W

Tutti i generatori sono continuamente regolabile da 0 - 100%

Pompe a vuoto

- in diversi formati da produttori diversi
  (Come richiesto con filtro a carboni attivi)


 

Ecco alcuni esempi
delle nostre PICO alloggiamento



PICO esempio variante 1, impianto di piccole dimensioni Sviluppo processo, pulizia, attivazione, etching, ottica, tecnica laser
 PICO esempio variante 1


PICO esempio variante 2, impianto di piccole dimensioni Sviluppo processo, pulizia, attivazione, etching, ottica, tecnica laser
 PICO esempio variante 2


PICO esempio variante 3, impianto di piccole dimensioni Sviluppo processo, pulizia, attivazione, etching, ottica, tecnica laser
 PICO esempio variante 3


PICO esempio variante 4, impianto di piccole dimensioni Sviluppo processo, pulizia, attivazione, etching, ottica, tecnica laser
 PICO esempio variante 4


PICO esempio variante 5, impianto di piccole dimensioni Sviluppo processo, pulizia, attivazione, etching, ottica, tecnica laser
 PICO esempio variante 5


PICO esempio variante 6, impianto di piccole dimensioni Sviluppo processo, pulizia, attivazione, etching, ottica, tecnica laser
 PICO esempio variante 6


PICO esempio variante 7, impianto di piccole dimensioni Sviluppo processo, pulizia, attivazione, etching, ottica, tecnica laser
 PICO esempio variante 7



Non esitate a contattarci per eventuali consulenze tecniche su questo impianto.

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