Plasma equipment: Per il plasma etching di pezzi profilati di grandi dimensioni può essere necessario adattare l'elettrodo alla form pezzo. In questo modo si garantisce anche un etching uniforme delle cavità. |
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Plasma equipment: Per il trattamento dei film l'intero rotolo di film viene inserito nella camera. Mediante un sistema di avvolgiment viene fatto passare accanto all'elettrodo e trattato al plasma. Il film tratto viene attotolato e prelevato a fine. |