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Viene introdotto un gas [ ad es. esametildisilossano (HMDSN), esametildisilazano
(HMDSN), Tetraetilenglicole-dimetil etere, C2F6, ecc.] nella camera
a plasma. Attraverso polimerizzazione al plasma vengono depositati
strati sulla superficie.
Applicazioni plasma coating:
- deposito di strati idrofobi
- deposito di strati idrofili
- applicazione ad es. come barriera alla diffusione
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