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La superficie viene sottoposta a etching attraverso un gas di processo reattivo. Durante tale processo viene rimosso, gassificato e pompato via del materiale. La superficie è aumentata e ha una bagnabilità ottimale.
Applicazioni plasma etching:
- ad es. strutturazione di silicio
- buona adesione di colle e vernici di plastiche resistenti alle alte temperature
quali ad es. PTFE, PFA e FEP
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